朱雀系列粉末原子层沉积系统，采用自主研发设计的反应器结构设计和先进的镀膜沉积技术，为各种粒径大小的微纳粉体表面沉积多种材料，并实现极限保形和均匀的薄膜沉积效果。适用于粉末包覆改性的研发及中试量产，具有灵活和多功能等特点。  

1、 系统具备多种配置，可兼容流化、振动等功能，实现粉体材料的充分分散，提高粉末的包覆效率和镀膜包覆性能，降低综合成本；

2、 配备集成手套箱，，可用于湿度敏感材料的开发；

3、 可升级挂载多种化学源，可开发多种ALD材料，例如 TiO₂、 ZnO 、 SiO₂等；

4、 易于更换的料盒粉末过滤器，可减少粉末批次间的污染；

5、 用户界面简单明了，触摸屏控制操作方便。