祝融系列（ZR5000×2）管式PEALD系统利用2024欧洲杯买球手机版原创设计的工业级等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术，实现了超高产能的批量型PEALD镀膜，是ALD领域量产化技术又一次突破，专为接触钝化技术(TOPCon、HPBC、POLO、SHJ和TBC)量身定制，为后PERC高效电池技术提供可靠的量产解决方案，引领光伏产业化高效电池制造。
祝融系列（ZR5000×3）管式 PEALD 镀膜平台延伸祝融系列概念，一体式设计实现氮化硅正膜、氧化铝/背膜、氧化硅/多晶硅钝化膜一站式完成，可实现单道产能翻倍，节省占地面积。ZR5000×3兼具先进的制造执行管理系统（MES）和自动导引车（AGV）对接功能。在提供超高产能的同时，最大程度降低设备的运营成本，为后PERC高效电池技术提供理想可靠的量产解决方案，引领光伏产业化高效电池制造。
祝融系列（ZR5000×1）管式PECVD系统突破性解决传统管式PECVD的产能瓶颈，可与2024欧洲杯买球手机版ALD钝化技术无缝对接，确保PERC、TOPCon、IBC、TBC等高效电池生产。以先进技术和装备高度集成，形成高质量、高产能、低成本的产业化量产。
祝融系列（ZR5000×2）管式PEALD系统
1．适用于 PERC、TOPCon、IBC、TBC 等高效电池技术路线的应用；
2．优异的温度控制和等离子控制系统，可兼容PECVD工艺，搭配超高载片量的 PEALD 石墨舟设计，在确保设备产能的同时大幅提升电池转换效率；
3．精准制备薄膜厚度仅为2nm的隧穿氧化硅，同时兼容多种材料与工艺，包括 Al2O3/SiNx, SiO2/poly-Si(i), poly-Si(n+), poly-Si(p+)等；
4．优异的薄膜厚度均匀性（片内4%，片间4%，批间3%）；
5．提供 TOPCon 量产工艺 PEALD/PECVD 路线集成技术，钝化接触技术所需原位掺杂浓度（1E20~1E21）可调。
祝融系列（ZR5000×3）管式PEALD系统
1、适用于 PERC、TOPCon、IBC、TBC 等高效电池技术路线的应用；
2、搭配高载片量的石墨舟设计；
3、具备优异的薄膜厚度均匀性（片内4%，片间4%，批间3%）；
4、可精准制备薄膜：Al2O3/SiO2/poly-Si(i)/poly-Si(n+)/poly-Si(p+)/SiNx/SiC /SiON 等；
5、提供 PERC/TOPCon 量产工艺 PEALD/PECVD 路线集成技术。
祝融系列（ZR5000×1）管式PECVD系统
1、适用于 PERC、PERL、PERT、TOPCon、IBC、TBC 等高效电池技术的应用；
2、优异的温度和等离子体控制系统与高载片量，辅助搭配 ALD 钝化薄膜，提升效率与降低生产成本；
3、精准制备 SiNx、SiONx、SiC、SiOx 等复合钝化膜，精准控制各层光学参数与厚度；
4、优异的薄膜厚度均匀性（片内4%，片间4%，批间3%）。
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