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产品目录

产品技术

半导体

集成电路

iTomic® HiK系列原子层沉积系统

iTronix®系列化学气相沉积系统

iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统

iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统

先进封装

iTronix®系列化学气相沉积系统

iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统

iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统

MEMS

iTomic® HiK系列原子层沉积系统

iTronix®系列化学气相沉积系统

iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统

iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统

硅基微显示

iTronix®系列化学气相沉积系统

iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统

泛半导体

iTomic® HiK系列原子层沉积系统

iTronix®系列化学气相沉积系统

iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统

iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统

其他

Trancendor®晶圆真空传输系统

光伏

硼扩散

羲和®系列高温低压系统

退火

羲和®系列高温低压系统

隧穿氧化/多晶硅沉积

祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统

正膜Al₂O₃/SiNₓ

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统

正膜Al₂O₃

夸父®系列KF20000批量式ALD系统

背膜SiNₓ

祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统

阻隔封装

电子传输层 SnOₓ

界面层/封装层 AIOₓ

产业化应用中心

iOptomic 系列原子层沉积系统

iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统

后羿®系列板式ALD系统

iSparol系列卷对卷ALD系统

iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统

半导体

我们是成功将量产型 High-𝘬原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备公司，实现了国产ALD设备“从0到1”的突破。我们在逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、新型显示等诸多半导体细分领域实施多元布局，已获得知名客户重复批量订单，跻身为能与国际巨头“同台竞技”民族企业之一。

产品展示

iTomic® MW系列批量式原子层沉积系统

iTomic® Lite系列轻型原子层沉积系统

iTomic® PE系列等离子体增强原子层沉积系统

Trancendor®晶圆真空传输系统

应用领域

集成电路

集成电路是指，在单一芯片上集成数百万甚至数十亿个电子元件，如晶体管和电容器，用于处理和存储信息，是现代电子设备的核心。

泛半导体

泛半导体是一类半导体材料，如氮化镓、碳化硅等，广泛用于制造高频电子元件、LED和高效电源，具有优越的电子特性。

硅基微显示

硅基微显示技术使用硅芯片制造微型显示屏，如OLED，用于智能眼镜、头戴式设备和虚拟现实系统，提供高分辨率的视觉体验。

MEMS

MEMS系统集成微型机械、电子和传感器元件，用于加速计、气压计和惯性导航，实现精确的测量和控制。

先进封装

先进封装技术改进了半导体芯片的性能和连接性，例如3D封装、TSMC CoWoS等，促进了更小、更快、更强大的电子设备的发展。

共同合作研发

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